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真空旋渦氣泵的工作原理及應用

點擊次數:823 更新時間:2023-03-15
   近年來,隨著工業(yè)技術的不斷發(fā)展與進步,真空泵技術也在不斷的拓展和改進。其中真空旋渦氣泵作為一種新型真空泵具有許多*性能,被廣泛應用于微電子、醫(yī)藥、化工、冶金等領域。
  一、工作原理
  真空旋渦氣泵,又稱渦旋型氣體排放真空泵,是一種通過機械旋渦作用將氣體逐步排凈的真空泵。其主要部分由轉子、定子、外轉子和連軸器等組成,其中轉子和定子的空腔組成螺旋曲面房,外轉子位于轉子的外表面。當轉子高速旋轉時,氣體便被推入螺旋曲面中,并隨著轉子的旋轉被迫以高速環(huán)流的形式逐步流向外周,在推力的作用下,氣體將被排凈達到高真空。
  二、應用領域
  1. 微電子行業(yè):在微電子制造過程中,控制氣氛為絕對真空度是必要的,因此真空旋渦氣泵被廣泛應用于半導體、電子、薄膜等行業(yè)。
  2. 醫(yī)療領域:在醫(yī)療設備中,例如核磁共振成像等,需要將容器內氧氣等氣體排除并且達到真空狀態(tài)。真空旋渦氣泵的高效率和保持真空的能力使其在醫(yī)療設備中得到廣泛應用。
  3. 化學領域:在化學生產過程中,需要使用真空泵進行物料輸送、蒸餾和混合。真空旋渦氣泵在化工行業(yè)中的高真空度和耐腐蝕性能,使其受到了很高的歡迎。
  4.冶金領域:在煉鐵、鋼鐵生產中需要進行真空處理,以去除鐵水中的氫、氮和雜質等雜質,提高金屬的純度和質量。一些大型鐵礦石加工生產企業(yè)也采用真空泵進行抽取鐵精礦的過程。
  三、結語
  真空旋渦氣泵的使用范圍非常廣泛,其高真空度、耐腐蝕等性能,成為許多行業(yè)所青睞的選擇。未來,隨著科技的發(fā)展,真空旋渦氣泵技術將不斷進步,使其能夠更好地適應各行業(yè)的需求,為各行業(yè)的進一步發(fā)展和創(chuàng)新做出更大的貢獻。

浙公網安備 33068302000494號

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